

① IQC
外觀(guān)缺陷檢查并反饋客戶(hù),區分裝置、膜質(zhì)、材質(zhì)、編制工藝流程表單。
② 分解
組立件清洗時(shí)對其后,個(gè)體進(jìn)行有效清洗。
③ 酸洗+超高壓水刀
先浸泡硝酸,把部件上的膜層浸泡松動(dòng);然后采用物理方法,超高壓水刀沖洗部件,打掉膜層。(ITO膜與AL膜只做水刀處理)。
④ 純水浸泡
超高壓水洗后在純水里把部品表面殘渣浸泡去除。
⑤ 預干燥
純水浸泡后進(jìn)行預干燥,去除表面水汽,以利于下工序作業(yè)。
⑥ 保護
部品不用噴砂部位用膠帶或治具進(jìn)行保護。
⑦ 噴砂
在一定的工藝壓力下,對部品進(jìn)行噴砂,以達到沉膜所需要的粗糙度標準。
⑧ 去保護、毛刺、檢查矯正
噴砂完成后對其保護治具和膠帶去除,去除噴砂邊緣處毛刺并對變形及尺寸不合格的進(jìn)行矯正。
⑨ 檢測
部品放于大理石平臺用塞尺測量翹曲度,不在標準范圍內進(jìn)行矯正,確保平面度的合格,測量數據記錄在檢查表上。
按照檢查表內規定需檢測的項目,用量具對部品進(jìn)行測量,其結果在檢查表上記錄。
⑩ 高壓水洗
? 干燥
在一定的工藝壓力下對噴砂部品進(jìn)行粗清洗,去除表面顆粒。
? ARC熔射
? 數據檢測
? 高壓水洗
按照工藝流程單規定的工藝參數進(jìn)行ARC熔射機的參數設定并進(jìn)行熔射作業(yè),作業(yè)完成后對熔射涂層粗糙程度進(jìn)行評估測量,測量數據是否能達到標準要求,流入下工序進(jìn)行高壓水洗,清除表面粉塵。
? 無(wú)塵室干燥
按工藝要求進(jìn)行干燥。
? 最終檢查
進(jìn)行外觀(guān)檢查,目視有無(wú)外觀(guān)不良,并依據檢查表進(jìn)行相關(guān)尺寸數據檢查。
? 組立
? FQC檢驗
? 真空包裝
依標準圖紙進(jìn)行部品組立,組立時(shí)注意組件的方向性。組立完成后,由FQC進(jìn)行外觀(guān)及尺寸數據方面的檢查確認。
內白外綠真空包裝(兩層)
? OQC、裝箱出貨
根據工藝流程單客戶(hù)類(lèi)別、裝置、膜質(zhì)等歸類(lèi)用緩沖材氣墊膜捆包后裝箱。
OQC作成檢驗報告、清單,裝箱完成后發(fā)貨。
|
部門(mén) |
產(chǎn)品 |
客戶(hù) |
世代 |
類(lèi)別 |
設備廠(chǎng)商 |
|
PVD |
MASK |
合肥京東方(B3) |
G6 |
LCD |
ULVAC |
|
重慶京東方(B8) |
G8.5 |
LCD |
ULVAC |
||
|
合肥京東方(B9) |
G10.5 |
LCD |
ULVAC |
||
|
滁州惠科 |
G8.6 |
LCD |
AKT |
||
|
重慶惠科 |
G8.6 |
LCD |
AKT |
||
|
上海天馬 |
G4.5 |
LCD |
ULVAC |
||
|
武漢天馬 |
G4.5 |
LCD |
ULVAC |
||
|
武漢天馬 |
G6 |
OLED |
IRUJA |
||
|
成都天馬 |
G4.5 |
LCD |
ULVAC |
||
|
廈門(mén)天馬 |
G5.5 |
LTPS |
ULVAC |
||
|
廈門(mén)天馬 |
G6 |
LTPS |
ULVAC |
||
|
中航 |
G5 |
LCD |
ULVAC |
||
|
龍騰 |
G5 |
LCD |
ULVAC |
||
|
南京熊貓 |
G6 |
LCD |
ULVAC |
||
|
南京熊貓 |
G6 |
LCD |
AKT |
||
|
華星光T3 |
G6 |
LTPS |
ULVAC |
||
|
華星光T4 |
G6 |
OLED |
IRUJA |
||
|
國顯光電 |
G5.5 |
OLED |
ULVAC |
|
部門(mén) |
產(chǎn)品 |
客戶(hù) |
世代 |
類(lèi)別 |
設備廠(chǎng)商 |
|
PVD |
MASK |
合肥京東方(B3) |
G6 |
LCD |
ULVAC |
|
重慶京東方(B8) |
G8.5 |
LCD |
ULVAC |
||
|
合肥京東方(B9) |
G10.5 |
LCD |
ULVAC |
||
|
滁州惠科 |
G8.6 |
LCD |
AKT |
||
|
重慶惠科 |
G8.6 |
LCD |
AKT |
||
|
上海天馬 |
G4.5 |
LCD |
ULVAC |
||
|
武漢天馬 |
G4.5 |
LCD |
ULVAC |
||
|
武漢天馬 |
G6 |
OLED |
IRUJA |
||
|
成都天馬 |
G4.5 |
LCD |
ULVAC |
||
|
廈門(mén)天馬 |
G5.5 |
LTPS |
ULVAC |
||
|
廈門(mén)天馬 |
G6 |
LTPS |
ULVAC |
||
|
中航 |
G5 |
LCD |
ULVAC |
||
|
龍騰 |
G5 |
LCD |
ULVAC |
||
|
南京熊貓 |
G6 |
LCD |
ULVAC |
||
|
南京熊貓 |
G6 |
LCD |
AKT |
||
|
華星光T3 |
G6 |
LTPS |
ULVAC |
||
|
華星光T4 |
G6 |
OLED |
IRUJA |
||
|
國顯光電 |
G5.5 |
OLED |
ULVAC |

① 分解
對部件進(jìn)行拆解,并分類(lèi),然后再分別清洗
② IQC檢查
外觀(guān)缺陷檢查并反饋客戶(hù),區分膜層,材質(zhì),制作工藝流程單
③ 化學(xué)除膜/水刀除膜
先浸泡硝酸,把部件上的膜層浸泡松動(dòng);然后采用物理方法,超高壓水刀沖洗部件,打掉膜層。(鋁板直接水刀除膜,不進(jìn)行化學(xué)浸泡)
④ 純水浸泡
超高壓水洗后在純水里把部品表面殘渣浸泡去除。
⑤ 保護
不需要噴砂的部位用膠帶或治具進(jìn)行保護
⑥ 噴砂
在一定的壓力下(5-8kg/cm²),對部品進(jìn)行噴砂,并且達到粗糙度標準,Ra=5-14um
⑦ 去保護、毛刺/打磨
噴砂完成后,去除保護膠帶和治具,并對光滑面進(jìn)行打磨。
⑧ 高壓水洗
噴砂完成后,對部品進(jìn)行高壓水洗,壓力50bar,除掉殘留的砂塵及微粒
⑨ 無(wú)塵室干燥
對部品進(jìn)行最終干燥,干燥要求:150°*2H
⑩ 檢查
進(jìn)行外觀(guān)檢查,目視有無(wú)缺陷、不良并進(jìn)行相關(guān)數據檢查,平面度控制在1mm以下
? 組裝
按照要求將Clamp、peek、上下導軌等進(jìn)行組裝,注意組裝的方向
? 真空包裝
將部品進(jìn)行真空包裝,兩層真空袋,其顏色和層數我們可根據客戶(hù)要求進(jìn)行包裝
? 裝箱出貨
OQC完成檢查報告,清單,裝箱完成后發(fā)貨

① 受入分解
對部件進(jìn)行分解,并對外觀(guān)、數量及材料進(jìn)行區分并使用專(zhuān)用工藝流程進(jìn)行清洗
② 液洗
配比新的硝酸藥液對不銹鋼防著(zhù)板部件進(jìn)行浸泡0.5-1h
MO 材質(zhì)部件在稀釋的氫氟酸槽浸泡3-15S
高壓水洗,沖洗掉部件上的酸液
③ 預干燥
將部件進(jìn)行預干燥,準備流入噴砂工段(注意:部件表面無(wú)水分即可)
④ 噴砂
對部件表面進(jìn)行噴砂處理,提高部件的表面粗糙度(注意:噴砂前需對氣壓做確認)
⑤ 中間檢查
對鋁制部件進(jìn)行表面打磨處理
⑥ 中間檢查
在大理石平臺上對部件進(jìn)行平面度進(jìn)行確認,如有變形需做矯正
使用專(zhuān)業(yè)儀器抽查部件表面粗糙度,并將合格的部件流入下一工段。
⑦ 水洗
使用超聲波設備去除表面微顆粒
使用氣槍將部件表面吹干(注意:每個(gè)螺孔內都不能有水漬殘留)
⑧ 加熱干燥
將部件放入烤箱內做最終干燥。(注意:烤開(kāi)啟前箱需確認溫度及時(shí)間的設定)
⑨ 組裝
將各組立件按照來(lái)貨時(shí)的狀態(tài)進(jìn)行組裝(注意:螺絲緊固前需對各組立件的方向進(jìn)行確認)
⑩ 品質(zhì)檢查
對部件的外觀(guān)、平面度、組裝效果、表面粗糙度等進(jìn)行檢查確認
? 真空包裝
對檢驗合格的部件做真空包裝處理,確保部件不會(huì )空氣接觸
? 裝箱出貨
將部件放入專(zhuān)用的周轉箱內運輸,確保部件的運輸安全
|
部門(mén) |
產(chǎn)品 |
客戶(hù) |
世代 |
類(lèi)別 |
|
IMP |
電極板 |
和輝光電 |
G4.5 |
OLED |
|
華星光電(T4) |
G6 |
OLED |
||
|
華星光電(T3) |
G6 |
LTPS |
||
|
廈門(mén)天馬 |
G6 |
LTPS |
||
|
武漢天馬 |
G6 |
OLED |

① IQC
② 分解
外觀(guān)缺陷檢查并反饋客戶(hù),區分裝置、膜質(zhì)、材質(zhì)、編制工藝流程表單,組立件清洗時(shí)對其分解后,個(gè)體進(jìn)行有效清洗。
③ 藥水浸泡+高壓水沖洗
通過(guò)浸泡藥水,把部件上的膜層去除;然后采用物理方法,高壓水沖洗部件,打掉殘余膜層。
④ 純水浸泡
高壓水洗后在純水里把部品表面殘渣浸泡掉。
⑤ 預干燥
純水浸泡后進(jìn)行預干燥,去除表面水汽,以利于下工序作業(yè)。
⑥ 保護
部品不用噴砂部位用膠帶或治具進(jìn)行保護。
⑦ 噴砂
在一定的工藝壓力下,對部品進(jìn)行噴砂,以達到沉膜所需要的粗糙度標準。
⑧ 去保護/毛刺
噴砂完成后對其保護治具和膠帶去除,去除噴砂邊緣處毛刺并對變形及尺寸不合格的進(jìn)行矯正。
⑨ ARC熔射
按照工藝流程單規定的工藝參數進(jìn)行ARC熔射機的參數設定并進(jìn)行熔射作業(yè)
⑩ 數據檢測
按照檢查表內規定需檢測的項目,用量具對部品進(jìn)行測量,其結果在檢查表上記錄;
? 高壓水洗
在一定的工藝壓力下,對噴砂部品進(jìn)行粗清洗,去除表面顆粒。
? 純水超聲波清洗
使用超聲波去除部品表面微顆粒
? UV燈檢查
使用UV燈檢查部品表面是否有有機殘留
? 無(wú)塵室干燥
按工藝要求進(jìn)行干燥,確保部件表面無(wú)水分殘留
? 最終檢查
進(jìn)行外觀(guān)檢查,目視有無(wú)外觀(guān)不良,并依據檢查表進(jìn)行相關(guān)尺寸數據檢查。
? FQC檢驗
對進(jìn)行外觀(guān)、平面度、粗糙度等項目進(jìn)行檢查確認;
? 真空包裝
兩層無(wú)塵真空包裝
? 物流出貨
根據工藝流程單客戶(hù)類(lèi)別、裝置、膜質(zhì)等歸類(lèi)用緩沖材氣墊膜捆包后裝箱。OQC作成檢驗報告、清單,裝箱完成后發(fā)貨。
|
部門(mén) |
產(chǎn)品 |
客戶(hù) |
世代 |
機臺 |
|
蒸鍍 |
內襯清洗 |
和輝光電 |
G4.5 |
TOKKI |
|
華星光電 |
G6(實(shí)驗線(xiàn)) |
TOKKI |
||
|
國顯光電 |
G5.5 |
TOKKI |
||
|
武漢天馬G6 |
G6 |
ULVAC/TOKKI |
||
|
綿陽(yáng)京東方B11 |
G6 |
TOKKI |
||
|
open mask |
武漢天馬G6 |
G6 |
ULVAC |
|
|
成都京東方B7 |
G6 |
TOKKI |
||
|
綿陽(yáng)京東方B11 |
G6 |
TOKKI |
① 來(lái)料檢查,錄入系統:
根據部品主材材質(zhì)(AL母材、SUS材質(zhì))、以及膜的種類(lèi),選擇洗凈制程工藝,同事根據部品刻印號,統計組核對部品清洗次,公司設計社內使用list表單,能夠高效快速區分部品。
② 作業(yè)管控系統:
A.除膜標準:部品通過(guò)物理方式或化學(xué)方式處理,將部品表面殘膜清理干凈,藥劑使用次數,頻率進(jìn)行管控。
B.遮蔽標準:使用膠帶或治具對部品非處理面進(jìn)行保護,無(wú)縫隙,對圖紙進(jìn)行管控。
C.噴砂部品標準:外觀(guān)色澤均勻、無(wú)色差、無(wú)殘膜、粗糙度滿(mǎn)足要求,對粗糙度SPEC進(jìn)行管控。
D.熔射部品標準:無(wú)色差、無(wú)劃傷、無(wú)印記、無(wú)黑點(diǎn)等;粗糙度滿(mǎn)足要求,對粗糙度SPEC進(jìn)行管控。
③ 中檢后標準控制:
A.整形標準:部品通過(guò)物理方式校正部件,達到尺寸SPEC。
B.粗糙度滿(mǎn)足要求,對粗糙度SPEC進(jìn)行管控。
④凈空房作業(yè)后標準控制:
檢測部件表面Particle(ea/cm2)數量符合產(chǎn)品出貨檢測SPEC。
⑤ 包裝出貨檢查標準控制
對部品數量、貼紙及真空包裝情況進(jìn)行檢查確認,發(fā)貨前對部品進(jìn)行整體最終確認。
⑥ 數據統計系統
記錄清洗部件數據,更新部件清洗履歷,建立部件清洗大數據,為客戶(hù)提供更合理、可靠的SPEC參考。
A .獨特的清洗劑配方,最大限度控制部件腐蝕問(wèn)題,提高客戶(hù)使用次數。

該多孔鋁合金零件經(jīng)過(guò)5次清洗,微孔幾乎沒(méi)有腐蝕變大,且每次清洗微腐蝕數據穩定,說(shuō)明該技術(shù)能穩定可控的對部件進(jìn)行清洗再生。
B . 嚴控的洗凈及凈空房環(huán)境能力,保證部件表面particle水平達到客戶(hù)上機要求。

精密洗凈后的試片,經(jīng)過(guò)超聲波,無(wú)塵室干燥后測試particle水平
完全滿(mǎn)足目前所有精密洗凈零件對particle水平的要求
C . 洗凈后的部件表面,嚴格控制金屬離子殘留水平,防止部件受到金屬離子污染。
| 1E10Atoms/cm2 | Li | Na | Mg | Al | K | Ca | Ti | V | Cr | Mn | Fe | Co | Ni | Cu | Zn | Ge | Y | Zr | Mo | W | Pb |
| SPEC | 60.00 | 200.00 | 50.00 | 600.00 | 200.00 | 95.00 | 60.00 | 30.00 | 50.00 | 30.00 | 70.00 | 30.00 | 50.00 | 50.00 | 50.00 | 30.00 | 30.00 | 30.00 | 30.00 | 30.00 | 30.00 |
| 測試片 | 0.01 | 2.52 | 0.50 | 30.93 | 0.69 | 2.93 | 6.44 | 0.01 | 0.08 | 0.04 | 8.75 | 0.05 | 0.09 | 0.80 | 3.79 | * | * | * | 0.08 | 0.02 | * |
精密洗凈后的試片,干燥后測試表面 金屬離子殘留水平
完全滿(mǎn)足目前所有精密洗凈零件對金屬離子殘留水平的要求
品質(zhì)管控:
☆ 無(wú)塵室的凈空度、溫濕度實(shí)現在線(xiàn)監控;
☆ 純水實(shí)現在線(xiàn)監控;
☆ 實(shí)施關(guān)鍵parts SPC 控制;
☆ 全面引入治具,實(shí)現遮蔽、量測的治具化,降低人為影響;
☆ 引入更多自動(dòng)化作業(yè)設備。

1.IQC檢查
檢查載板外觀(guān)不良及零部件缺少,做出受入不良聯(lián)絡(luò )書(shū)
記錄載板各部件刻號在圖紙對應位置,以便無(wú)塵室進(jìn)行組裝
2.分解
按分解作業(yè)指導書(shū)要求對載板進(jìn)行分解后打印list工程表完成受入工作
3.化學(xué)除膜
藥水:HNO3:H2O=1:1,條件:45±5℃×(3~4H),去除部件表面膜層;藥水浸泡時(shí)注意每件產(chǎn)品需要隔開(kāi),防止疊加位置藥水浸泡不到導致膜層殘留。
4.純水浸泡
純水溢流浸泡10min,去除表面藥水殘留。
5.高壓水洗
高壓水槍沖洗表面殘留膜質(zhì),水槍切記調至合適壓力防止產(chǎn)品沖洗變形(定位孔務(wù)必沖洗干凈)
6.干燥
干燥:氣槍吹掃pocket表面水份后90°*30min進(jìn)行干燥
7.保護
橫梁豎梁螺孔位置上螺絲保護,光滑面膠帶保護,組立搭接位置均需保護;pocket使用治具進(jìn)行保護pocket光滑面及圓形定位孔嚴格保護。(定位孔及銷(xiāo)釘孔需用螺絲加墊片保護)
8.噴砂
保護好的產(chǎn)品放置在噴砂臺進(jìn)行噴砂作業(yè);pocket噴砂注意條件:WA80#×(3~4 kg/cm2)Ra=Ra2.0 - Ra3.2μm
9.去保護/毛刺
去除噴砂的保護,對光滑面進(jìn)行打磨(要求無(wú)殘膜,砂子),并去除刀口位置毛刺
10.整形
矯正:將部品放置大理石平臺進(jìn)行矯正:左右豎梁平面度<1mm,橫梁平面度<0.5mm,pocket平面度<0.15mm
11.高壓水洗/超聲波清洗
正反面均需沖洗,高壓水槍壓力50par(沖洗時(shí)pocket需水平放置)。超聲波清洗1200W × 10min。
12.預干燥
對清洗完畢的部件進(jìn)行預干燥90°× 30min
13.最終干燥
無(wú)塵室內對部件進(jìn)行最終干燥150°× 2h,干燥結束后自然冷卻至室溫對部件進(jìn)行組裝前平面度確認,確保外觀(guān)及平面度合格。
14.組裝
按照受入記錄的圖紙,找到刻號為一組的部件,將每個(gè)部件對應圖紙裝上(組裝順序:先把橫梁豎梁組立好(對角線(xiàn)<2cm),再把pocket位置調好,裝上銷(xiāo)釘,pocket需墊上等高墊塊,裝上所有螺絲調整好pocket四周間隙后鎖緊側邊螺絲,最后鎖緊pocket螺絲。)
15.最終檢驗
依據檢查標準對部品進(jìn)行檢查并對相關(guān)數據進(jìn)行量測;并依據量測數據進(jìn)行出貨報告制作。
16.真空包裝
包裝要求:雙層包裝,一層真空,一層防靜電。
17.裝箱發(fā)貨
OQC完成檢查報告,清單,確認無(wú)遺漏,裝箱完成進(jìn)行箱體無(wú)塵卷膜纏繞,打印標簽后發(fā)貨。