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For Ag/MG/YB鍍膜清洗流程及輔助臺車(chē)說(shuō)明

① IQC

對來(lái)料的mask進(jìn)行外觀(guān)檢查，檢查過(guò)程全程錄像，避免雙方確認結果不一致。

強光檢查mask表面是否有折傷、擊傷、劃傷、脫焊等異常。

暗室檢查mask表面是否有臟污，銹斑。

檢查過(guò)程中對異常問(wèn)題進(jìn)行圖示標注，郵件發(fā)給客戶(hù)進(jìn)行確認。

對mask表面進(jìn)行TP、CD兩個(gè)項目的檢測，TP及CD 檢測P各36個(gè)點(diǎn)位。

② 化學(xué)除膜

化學(xué)除膜：將mask平移至自動(dòng)清洗線(xiàn)上，按程序設定的浸泡時(shí)間進(jìn)行化學(xué)浸泡及DI純水清洗（純水阻值為：＞10MΩ）。

化學(xué)除膜-lif：使用60度熱DI純水浸泡45min，DI純水沖洗2遍后,放入DI純水槽內浸泡15分鐘。

化學(xué)除膜-Mg/Ag：使用電子級雙氧水溶液進(jìn)行化學(xué)除膜，浸泡時(shí)間50min,（每15min檢測槽內反應狀態(tài)及槽液濃度）。

③ 純水浸泡

使用超聲波震蕩的方法去除mask表面殘留的藥液及微顆粒，確保mask表面潔凈（功率：1200w，頻率：40Hz，時(shí)間15min）。

④ 防銹清洗

對除膜后的mask做IPA沖洗10min以上,確保表面無(wú)銹跡殘留。

自動(dòng)清洗線(xiàn)升降速度為5mm/S，左右移動(dòng)速度為10mm/S（程序可設定為手動(dòng)或自動(dòng)）。

⑤ 烘干

將mask搬運至專(zhuān)干燥車(chē)上對表面進(jìn)行檢查確認，要求無(wú)水漬殘留。

暗室內強光燈檢查mask表面是否有水印殘留，如有水印可使用純水擦拭，后使用酒精擦干。

將mask固定后放入專(zhuān)用無(wú)塵干燥箱內，干燥過(guò)程禁止打開(kāi)烘箱，干燥溫度：60±1℃，干燥時(shí)間180min。

干燥箱開(kāi)啟后充入氮氣，保證干燥箱內為正壓5-10Mpa。