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解決方案
氧化行業(yè)解決方案
DE壁板氧化再生工藝流程
DE壁板氧化再生工藝
服務(wù)履歷
Open mask行業(yè)解決方案
Open Mask操作流程
QC 流程圖
Open Mask清洗工藝流程
Open Mask清洗規格說(shuō)明
清洗規格
半導體行業(yè)解決方案
光伏清洗再生工藝流程-載板
半導體部件清洗再生工藝流程
陶瓷熔射行業(yè)解決方案
DE陶瓷部件清洗再生工藝流程
DE陶瓷部件清洗工藝
服務(wù)履歷
部件表面處理工藝流程
陶瓷熔射簡(jiǎn)介
陶瓷熔射業(yè)務(wù)
產(chǎn)品展示(光電)
產(chǎn)品展示(半導體)
產(chǎn)品展示(半導體ESC)
陶瓷熔射技術(shù)模塊
陶瓷熔射衍生工藝(退鍍技術(shù))
陶瓷熔射衍生工藝(氧化新工藝)
部件表面處理工藝流程
性能測試氧化新工藝性能指標
陶瓷熔射衍生工藝(清洗再生工藝)
部件表面處理工藝流程
洗凈再生技術(shù)能力
特別產(chǎn)品(上電級的處理)
服務(wù)履歷
洗凈行業(yè)解決方案
PVD部件清洗再生工藝流程
服務(wù)履歷
CF部件清洗再生工藝流程
IMP清洗工藝流程
服務(wù)履歷
內襯板部件清洗再生工藝流程
服務(wù)履歷
品控能力
洗凈再生技術(shù)能力
高階制程精密洗凈優(yōu)勢
光伏清洗再生工藝流程-載板
CVD行業(yè)解決方案
CVD部件清洗再生工藝流程-Diffuser
CVD部件清洗再生工藝流程-Backing Plate
CVD部件清洗再生工藝流程1-Susceptor
CVD部件清洗再生工藝流程2-Susceptor
CVD部件清洗再生工藝流程-Shadow Frame
核心技術(shù)
服務(wù)履歷
加工行業(yè)解決方案
加工部件清洗工藝流程
加工部件清洗工藝
服務(wù)履歷
DE壁板氧化再生工藝流程

DE壁板氧化再生工藝

① 取貨

從客戶(hù)受取洗凈再生的部件。

 

② 受入檢查

對受取部件的來(lái)料品質(zhì)進(jìn)行檢查,并把品質(zhì)不良情況及相關(guān)不良照片及時(shí)反饋給客戶(hù)。

 

③ 膜厚和粗糙度檢測

對來(lái)料部件的尺寸 、膜厚和表面粗糙度進(jìn)行檢測,并分析評估,檢測數據以作制定陽(yáng)極氧化生產(chǎn)工藝參數和陽(yáng)極氧化后的品質(zhì)檢測確認的依據。

 

④ 液洗

用丙酮溶液浸泡和白潔布擦拭方法把部件表面生產(chǎn)中沉積的膜質(zhì)清洗掉,為去除氧化膜作準備。

 

⑤ 堿性溶液去氧化膜

用NaOH溶液浸泡的方法把部件上原有的氧化膜去除掉。

 

⑥ 研磨拋光

用氣動(dòng)打磨機對部件表面進(jìn)行研磨拋光,以達到部件所需要的粗糙度。

 

⑦ 中間檢查

研磨后的表面粗糙度一般控制在Ra=0.6±0.2um。

 

⑧ 上掛

用鋁條、鋁固定套和鈦螺絲進(jìn)行上掛。

 

⑨ 陽(yáng)極氧化

對部件進(jìn)行電鍍陽(yáng)極氧化鍍膜處理陽(yáng)極氧化流程。

⑩ 下掛

吹干部件表面后,拆卸鋁固定套和鈦螺絲。

 

? 擦拭去封口灰

用白潔布擦拭或氣動(dòng)打磨機研磨的方法去除部件封孔過(guò)程產(chǎn)生的粉刺(白粉)。

 

? 高壓水洗及吹干

 

? 無(wú)塵室干燥

用大型干燥箱進(jìn)行最終的干燥。

 

? 最終檢查

對部件的外觀(guān)、氧化膜厚、孔徑和表面粗糙度做最終的品質(zhì)檢查確認工作。

對最終品質(zhì)檢查OK的部件進(jìn)行真空包裝。

 

? 裝箱出貨

對部件進(jìn)行捆包裝箱裝車(chē)出貨。

服務(wù)履歷

部門(mén)

產(chǎn)品

客戶(hù)

世代

類(lèi)別

Dry Etch

壁板氧化

合肥京東方(B3)

G6

LCD

合肥鑫晟(B5)

G8.5

LCD

成都京東方(B7)

G6

OLED

重慶京東方(B8)

G8.5

LCD

合肥京東方(B9)

G10.5

LCD

福州京東方(B10)

G8.5

LCD

綿陽(yáng)京東方(B11)

G6

OLED

武漢京東方(B17)

G10.5

LCD

南京熊貓

G6

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中航

G5

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成都天馬

G4.5

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上海天馬

G4.5

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廈門(mén)天馬

G6

LTPS

G5.5

LTPS

武漢天馬

G4.5

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G6

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華星光電T4

G6

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國顯光電

G5.5

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上海和輝

G4.5

OLED

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