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☆ 2500平方米生產(chǎn)服務(wù)面積

☆  每月10000件部件的清洗能力

☆  具備服務(wù)于8”和12“產(chǎn)線(xiàn)的洗凈、熔射、噴砂、維修翻新、貴金屬回收等需求的完整工藝能力

☆  擁有2條銅清洗線(xiàn)與2條非銅清洗線(xiàn)，包含的處理程序有：

     1.  化學(xué)剝離、物理剝離

     2. 鋁熔射/陶瓷熔射 表面處理、表面噴砂、無(wú)塵室

     3. 最終清洗和真空包裝

     4. 專(zhuān)用運輸箱設計和制作

     5.  部件使用相關(guān)文檔的存檔管控

半導體洗凈運營(yíng)團隊組成

① 來(lái)料檢查

對部件編制工藝流程表單，檢測部件外觀(guān)，存在缺陷進(jìn)行上報 。

②  Mask保護

化學(xué)除膜前，對不需要進(jìn)行化學(xué)處理區域進(jìn)行保護，避免不必要的腐蝕。

③ 化學(xué)除膜

根據不同的裝置、膜質(zhì)、材質(zhì)用不同配比的化學(xué)藥水進(jìn)行去除膜層。對化學(xué)藥劑的使用及更換進(jìn)行管控。

④ Mask保護

使用治具或者保護膠帶對不需要噴砂處理的區域進(jìn)行mask保護。

⑤ 噴砂

根據作業(yè)單要求，調整砂粒度及噴射壓力，以保證達到工藝設定粗糙度SPEC。

⑥ ARC 熔射

ARC電弧熔射，滿(mǎn)足半導體 PVD制程parts粗糙度使用要求，延長(cháng)客戶(hù)PM life Time。

⑦ Plasma 熔射

Plasma等離子熔射，形成Y2O3/Al2O3 coating層，減緩部件在各種Plasma Gas環(huán)境下引起的部件腐蝕，延長(cháng)客戶(hù)PM life Time。

⑧ 高溫烘烤

利用高溫對parts表面污染物進(jìn)行氣化，部件表面沒(méi)有化學(xué)殘留的風(fēng)險。

⑨ CO2 微顆粒噴射清洗

利用微顆粒的干冰撞擊部件表面，已達到去除表面污染物的目的，為一種綠色，無(wú)損的物理清洗方法。

⑩ 矯正

對噴砂,熔射部品表面進(jìn)行修整。

 ? 檢查

對修整后部件的平面度，真圓度，孔徑，粗糙度等進(jìn)行檢測，以達到工單SPEC。

? AOI檢測

對高精密的parts 進(jìn)行孔徑，位移的檢測。

? 高壓水洗

對噴砂,熔射部品表面進(jìn)行清洗，去除表面大顆粒。

? 超聲波清洗

無(wú)塵室內進(jìn)行超聲波進(jìn)行震蕩精洗，去除表面particle顆粒。

? 汽水槍沖洗/吹干

表面particle顆粒，殘留水分。

? 干燥

Class 100無(wú)塵烘箱對部件進(jìn)行干燥，保證部件水分完全去除。

? 最終檢查

外觀(guān)檢測，Particle檢測、治具檢測、尺寸檢測，暗室檢測，確保部品出貨參數在標準控制范圍。

? 真空包裝

對檢查完畢后的部品按客戶(hù)要求進(jìn)行真空包裝。

? 交付客戶(hù)

系統生成產(chǎn)品出貨報告、出貨清單,裝箱完成后交付客戶(hù)。